無塵室（潔凈室）測試驗(yàn)收，先要確認(rèn)無塵室各項(xiàng)工程已完成并運(yùn)轉(zhuǎn)至少24小時以上，方能進(jìn)行如下各項(xiàng)測試。各測試項(xiàng)目，其也有一定的先后順序。先要測定HEPA/ULPA風(fēng)速，HEPA/ULPA的風(fēng)速是測定其泄漏的前提，濾網(wǎng)沒有風(fēng)速或者風(fēng)速很小都能直接影響hepa掃漏的準(zhǔn)確性，同時也影響環(huán)境內(nèi)粒子的過濾效果。從事潔凈室工程設(shè)計(jì)施工多年經(jīng)驗(yàn)的工程師應(yīng)該都知道，竣工驗(yàn)收時，一般新裝HEPA風(fēng)速要達(dá)到0.40-0.45m/s以上，同時回風(fēng)風(fēng)速一般要在2.0m/s左右，無塵室內(nèi)的過濾效果才明顯，如此風(fēng)速，一些1.0以上大顆粒會被氣流通過回風(fēng)帶走。風(fēng)速小于0.35的會造成大顆粒在室內(nèi)一直循環(huán)而不被回風(fēng)帶走，這樣的話做環(huán)境粒子測試將無法通過，待室內(nèi)運(yùn)行一段時間后，無塵室正常生產(chǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)的時候?qū)L(fēng)速范圍將調(diào)至在0.25-0.45之間亦可保證室內(nèi)的潔凈度。

       HEPA/ULPA的掃漏，一般包括倆個部分，一是中的HEPA/ULPA的表面掃漏，另外就是其安裝的周邊密封性掃漏，HEPA/ULPA的表面在廠家出廠前也進(jìn)行過測試，但是不能確定工人在安裝過程中會造成損壞，所以表面掃漏也是必須的，周邊密封性的掃漏是檢驗(yàn)安裝是否到位，氣密是否嚴(yán)實(shí)，在一般的掃漏過程中，周邊密封性掃漏是必要的工作，也是掃漏的重點(diǎn)。HEPA/ULPA風(fēng)速測試中，為避免邊緣受到渦流的影響，一般可以采取四周PVC圍護(hù)的方式，以利測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。